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SILYLATIONとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 シリル化
「SILYLATION」を含む例文一覧
該当件数 : 73件
SILYLATION例文帳に追加
シリル化方法 - 特許庁
SILYLATION PROCESSING METHOD, SILYLATION PROCESSING APPARATUS, AND ETCHING PROCESSING SYSTEM例文帳に追加
シリル化処理方法、シリル化処理装置およびエッチング処理システム - 特許庁
To provide a photoresist composition for TIPS(top-surface imaging process by silylation) and a TIPS step utilizing the composition.例文帳に追加
TIPS（Top−Surface Imaging Process by Silylation）用フォトレジスト組成物及びこの組成物を利用したTIPS工程を提供する。 - 特許庁
SILYLATION OF COMPOUND HAVING HYDROXYL GROUP例文帳に追加
水酸基を有する化合物のシリル化法 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR SILYLATION PROCESSING例文帳に追加
シリル化処理装置およびシリル化処理方法 - 特許庁
The surface treatment agent, which is used for the surface treatment on the substrate, contains a silylation agent and a silylation heterocyclic compound.例文帳に追加
基板の表面処理に使用される表面処理剤であって、シリル化剤とシリル化複素環化合物と、を含有する表面処理剤を使用する。 - 特許庁
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Wiktionary英語版での「SILYLATION」の意味 |
silylation
名詞
silylation (countable かつ uncountable, 複数形 silylations)
- (chemistry) The introduction of one or more silyl groups into a molecule.
「SILYLATION」を含む例文一覧
該当件数 : 73件
METHOD FOR PRODUCING ORGANIC SILICON COMPOUND BY SILYLATION REACTION OF CONJUGATED DIENE例文帳に追加
共役ジエン類のシリル化反応による有機ケイ素化合物の製造方法 - 特許庁
SILYLATION METHOD OF POROUS LOW-PERMITTIVITY SILICON INSULATING FILM例文帳に追加
多孔質低誘電率シリコン系絶縁膜をシリル化処理する方法 - 特許庁
To detect a fault in wafer treatment including silylation treatment at an early stage.例文帳に追加
シリル化処理を含むウェハ処理の不具合を早期に検出する。 - 特許庁
To precisely form fine patterns when a silylation is used in forming semiconductor patterns.例文帳に追加
半導体パターンの形成にシリル化処理を用いる場合に微細パターンを正確に形成する。 - 特許庁
RESIST PATTERN FORMING METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND SILYLATION DEVICE例文帳に追加
レジストパターンの形成方法、半導体装置の製造方法およびシリル化装置 - 特許庁
Next, a mask for processing of a connection hole and a wiring groove is formed by a silylation method.例文帳に追加
次に、接続孔及び配線溝の加工用マスクをシリル化法により形成する。 - 特許庁
ORGANOSILICON COMPOUND AND METHOD FOR PRODUCING ORGANOSILICON COMPOUND BY DOUBLE SILYLATION REACTION例文帳に追加
有機ケイ素化合物およびダブルシリル化反応による有機ケイ素化合物の製造方法 - 特許庁
To obtain a pattern forming method for realizing a negative silylation process.例文帳に追加
本発明は、ネガ型のシリル化プロセスを実現するパターン形成方法を得る。 - 特許庁
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