Thermo Viewerとは 意味・読み方・使い方

The temperature distribution of the adsorbent 3 can be measured without contact with the adsorbent 3 by using a thermo-viewer (infrared thermometer) for measuring.例文帳に追加

測定にはサーモビュアカメラ（赤外線温度計）を使用することにより、前記吸着剤３に対して非接触で該吸着剤３の温度分布を測定することができる。 - 特許庁

To provide a hot plate in which the temperature on the heating face can be precisely measured by a thermo-viewer since the infrared transmittance of the ceramic substrate is as low as 10% or less.例文帳に追加

セラミック基板の赤外線透過率が１０％以下と低いため、加熱面の温度をサーモビュアにより正確に測定することができるホットプレートを提供する。 - 特許庁

To provide the ceramic substrate for semiconductor manufacture/ detector of excellent electrode pattern embeddment and temperature measurement accuracy by thermo-viewer, excellent volume resistivity and heat conductivity at a high temperature and low lightness suitable as the substrate of a hot plate, an electrostatic chuck, a wafer prober and a susceptor.例文帳に追加

電極パターンの隠蔽性およびサーモビュアによる温度測定精度に優れる他、高温での体積抵抗率および熱伝導率にも優れ、かつ明度が低く、ホットプレート、静電チャック、ウエハプローバ、サセプタなどの基板として好適な半導体製造・検査装置用セラミック基板を提供すること。 - 特許庁

To provide a ceramic substrate for devices for manufacturing and inspecting of semiconductor that has volume resistivity of at least 108 Ω.cm at high temperatures and also can secure thermal conductivity of at least 60 W/m.K at high temperatures, and further can assure shielding properties, large amount of radiant heat, and measurement accuracy by a thermo viewer.例文帳に追加

高温時での体積抵抗率が少なくとも１０^8 Ω・ｃｍ以上で、しかも高温時の熱伝導率として６０Ｗ／ｍ・ｋ以上を確保することができ、更には隠蔽性、大輻射熱量、および、サーモビュアによる測定精度を保証することができる半導体製造・検査装置用セラミック基板を提供すること。 - 特許庁