X-ray alignerとは 意味・読み方・使い方

MULTILAYER FILM REFLECTING MIRROR, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, SOFT X-RAY OPTICAL DEVICE, AND ALIGNER例文帳に追加

多層膜反射鏡、その製造方法、軟Ｘ線光学機器及び露光装置 - 特許庁

X-RAY MASK, X-RAY ALIGNER, X-RAY EXPOSURE METHOD, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURED THEREBY例文帳に追加

Ｘ線マスク、Ｘ線露光装置、Ｘ線露光方法およびこのＸ線露光方法で製造された半導体装置 - 特許庁

To provide an X-ray mask enabling transfer of a high speed and fine pattern, and to provide an X-ray aligner, an X-ray exposure method and a semiconductor device manufactured by the X-ray exposure method.例文帳に追加

高速かつ微細なパタ−ンの転写を可能とするＸ線マスク、Ｘ線露光装置、Ｘ線露光方法、およびこのＸ線露光方法で製造された半導体装置を提供する。 - 特許庁

A fine structure of nano meter level can be readily formed without using an expensive electronic beam aligner, an X-ray aligner or the like.例文帳に追加

高価な電子ビーム露光装置やＸ線露光装置等を用いなくても、ナノメータレベルの微細構造を簡単に形成することが可能である。 - 特許庁

To provide a projection aligner that can measure the ray of a short wavelength region such as an X ray, and the projection exposure light of an energy ray.例文帳に追加

Ｘ線等の短波長域の光線、エネルギー線の投影露光光の計測が可能な投影露光装置を提供する。 - 特許庁

An X-ray aligner 100 is provided with a light source chamber 10 having an X-ray generating mechanism, the X-ray transmission unit 11 to which a plurality of X-ray transmission films having different X-ray transmission characteristics are fixed, and a driving device 14 which drives the unit 11.例文帳に追加

Ｘ線露光装置１００は、Ｘ線を発生させる機構を有する光源チャンバ１０と、互いに異なるＸ線透過特性を有する複数のＸ線透過膜が固定されたＸ線透過ユニット１１と、Ｘ線透過ユニット１１を駆動する駆動装置１４と、を備える。 - 特許庁

Alternately, an X-ray aligner where a water cooling metallic target and an X-ray slit are built is prepared in addition to an electron beam generation part and a movable stage part in an electron aligner.例文帳に追加

あるいは、電子露光装置における電子線発生部および可動ステージ部に加えて、水冷金属ターゲットおよびＸ線用スリットを組み込んだＸ線露光装置を作製する。 - 特許庁

X-RAY MASK BODY STRUCTURE, METHOD AND DEVICE FOR X-RAY ALIGNER USING THE X-RAY MASK BODY STRUCTURE AND PRODUCING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE X-RAY MASK BODY STRUCTURE例文帳に追加

Ｘ線マスク構造体、該Ｘ線マスク構造体を用いたＸ線露光方法、前記Ｘ線マスク構造体を用いたＸ線露光装置、前記Ｘ線マスク構造体を用いた半導体デバイスの製造方法、および該製造方法によって製造された半導体デバイス - 特許庁