a Mylとは 意味・読み方・使い方

Each of thrust forces (pushing force by a motor) Fxf, Fxb, Fyr and Fyl acts on a stage S by drivings of X-direction drive motors Mxf (front side), Mxb (rear side), or a Y-direction drive motors Myr (right side), Myl (left side).例文帳に追加

ステージＳには、Ｘ方向駆動モータＭｘｆ（前側）、Ｍｘｂ（後側）、Ｙ方向駆動モータＭｙｒ（右側）、Ｍｙｌ（左側）の駆動に伴い、それぞれ推力（モータの押す力）Ｆｘｆ、Ｆｘｂ、Ｆｙｒ、Ｆｙｌが作用する。 - 特許庁

On the stage control, the amount of error is caught as the amount of control feedback on the coordinates (X, Y, Θz) with the exposure position as a center, each of drive motors Mxf, Mxb, Myr, and Myl is driven so as to reduce the error.例文帳に追加

本発明のステージ制御においては、露光位置を中心とする座標において（Ｘ、Ｙ、Θｚ）誤差量を制御フィードバック量として捉え、この誤差を小さくするように各駆動モータＭｘｆ、Ｍｘｂ、Ｍｙｒ、Ｍｙｌを駆動させる。 - 特許庁