abnormal dischargeとは 意味・読み方・使い方

PREVENTIVE METHOD FOR ABNORMAL DISCHARGE OF ELECTRON BEAM DEVICE例文帳に追加

電子ビーム装置の異常放電防止方法 - 特許庁

ABNORMAL DISCHARGE DETECTION DEVICE AND METHOD, AND PLASMA TREATMENT DEVICE COMPRISING THE ABNORMAL DISCHARGE DETECTION DEVICE例文帳に追加

異常放電検出装置と検出方法、及び該異常放電検出装置を備えたプラズマ処理装置 - 特許庁

AUTOMATIC DEVICE FOR PREVENTING ABNORMAL DISCHARGE IN PLASMA ETCHING例文帳に追加

プラズマエッチングにおける異常放電自動防止装置 - 特許庁

Thus, not the abnormal discharge itself, but a symptom phenomenon of the abnormal discharge is detected, so that the abnormal discharge can be prevented from occurring.例文帳に追加

このように、異常放電自体を検出するのではなく、異常放電の予兆現象を検出していることから、異常放電の発生を未然に防止することができる。 - 特許庁

PLASMA PROCESSING DEVICE AND ABNORMAL DISCHARGE PREVENTING METHOD例文帳に追加

プラズマ処理装置およびその異常放電抑止方法 - 特許庁

To detect abnormal discharge in a charger and, at the same time, appropriately detect other abnormal discharge caused by a charging voltage.例文帳に追加

帯電器での異常放電を検出しつつ、帯電電圧に起因する他の異常放電も好適に検出できること。 - 特許庁

A detector 10 detects whether normal discharge or abnormal discharge takes place based on voltage between electrodes per discharge.例文帳に追加

検出装置１０は、放電毎に極間電圧に基づいて正常放電か異常放電かを検出する。 - 特許庁

To provide a discharge state sensing device which not only detects the number of occurrences of abnormal electric discharge but also can grasp a state of the abnormal electric discharge, and to provide a discharge state sensing method.例文帳に追加

異常放電の発生回数の検出のみならず、異常放電の状態を把握することが可能な放電状態検知装置および放電状態検知方法を得る。 - 特許庁