argon clusterとは 意味・読み方・使い方

The ion beam is preferably an argon ion beam or C_60 cluster ion beam.例文帳に追加

前記イオンビームはアルゴンイオンビーム又はＣ_60クラスターイオンビームが好ましい。 - 特許庁

This method of manufacturing thin polycrystalline silicon semiconductor film includes a step of irradiating single argon, helium, neon, and nitrogen gas cluster beams and their mixed gas cluster beam onto a thin polycrystalline silicon film.例文帳に追加

多結晶シリコン薄膜に、アルゴン、ヘリウム、ネオン、窒素の単体ガス、およびそれらを混合したガスクラスタービームを照射する工程を備える多結晶シリコン半導体薄膜の製造方法。 - 特許庁

A residual gallium layer 3 on the surface of the thin piece 6 cut by the focused ion beam apparatus is removed by sputtering a gas cluster ion beam 1 such as argon.例文帳に追加

アルゴンなどのガスクラスターイオンビーム1のスパッタで、集束イオンビーム装置で切り出した薄片6の表面の残留ガリウム層3の除去を行う。 - 特許庁

The method of substrate treatment on an SOI substrate includes a step of processing the surface of the SOI substrate by a PACE method using plasma or a GCIB method using a gas cluster ion beam, and a step of annealing the SOI substrate subjected to the above processing by heat treating the SOI substrate in an argon atmosphere or in an inert gas atmosphere containing hydrogen of 4 vol% or less.例文帳に追加

少なくとも、ＳＯＩ基板の表面をプラズマを用いたＰＡＣＥ法、又は、ガスクラスターイオンビームを用いたＧＣＩＢ法によって処理する工程と、前記処理を施したＳＯＩ基板を、アルゴン雰囲気中、又は、水素を４体積％以下含む不活性ガス雰囲気中で熱処理してアニールする工程とを有する、ＳＯＩ基板の表面処理方法。 - 特許庁