arsinとは 意味・読み方・使い方

To reduce hydrogen concentration in a base layer of an HBT and to minimize the regulation of current gain β by using a group V material other than AsH_3 (arsin).例文帳に追加

ＡｓＨ_3（アルシン）以外のＶ族原料を用いることで、ＨＢＴのベース層中の水素濃度を低減し、電流利得βの変動率を極力小さくすること。 - 特許庁

A single crystal film having good quality can be formed on a polycrystalline substrate by an epitaxial growth method where a buffer layer is formed by heat-treating the surface of the substrate in arsin atmosphere or a polycrystalline buffer layer is formed at a temperature low enough not to start epitaxial growth of a single crystal.例文帳に追加

そのための成長方法として、基板表面をアルシン雰囲気での熱処理することによるバッファ層、あるいは、通常単結晶が成長しない程度の低温での多結晶体バッファ層を形成することにより、多結晶体基板上に良質な単結晶膜を形成することができる。 - 特許庁