beam blankingとは 意味・読み方・使い方

Electron beam scanning is performed by rotating the blanking and the electron beam irradiation.例文帳に追加

このブランキングと電子ビーム照射とを繰り返して電子ビーム走査を行う。 - 特許庁

BLANKING MECHANISM OF CHARGED PARTICLE BEAM AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE HAVING IT例文帳に追加

荷電粒子ビームのブランキング機構及びそれを備えた荷電粒子ビーム装置 - 特許庁

In scan of the electron beam on the sample, blanking is periodically given to an electron beam, and simultaneously, a high voltage applying timing signal synchronized with a blanking signal from an excimer beam source control circuit 22 is supplied to the excimer beam source 21, so that the excimer beam is generated in a period within a blanking period.例文帳に追加

電子ビームの試料上走査において定期的に電子ビームにブランキングを掛けると同時に、エキシマ光源制御回路２２からブランキング信号に同期した高電圧印加タイミング信号をエキシマ光源２１に供給して、ブランキング期間以内の期間にエキシマ光を発生させる。 - 特許庁

In a method for charged particle beam lithography in which the substrate is exposed by turing on/off a charged particle beam by moving the charged particle beam on a blanking aperture in a deflected state, the size of the charged particle beam on the blanking aperture is made larger as compared with the size of the blanking aperture.例文帳に追加

荷電粒子線を偏向してブランキングアパーチャ上を移動させることにより、荷電粒子線をオン・オフして基板を露光する荷電粒子線描画方法において、ブランキングアパーチャの大きさに比べブランキングアパーチャ上の荷電粒子線の大きさを大きくする。 - 特許庁

The charged particle beam lithography apparatus 1 comprises blanking deflector arrays each including a plurality of deflectors for blanking the plurality of charged particle beams, respectively, in two-stage (blanking deflector arrays 14, 19).例文帳に追加

ここで、荷電粒子線描画装置１は、複数の荷電粒子線をそれぞれブランキングするための複数の偏向器を含むブランキング偏向器アレイを少なくとも２段（ブランキング偏向器アレイ１４、１９）備える。 - 特許庁

To provide a focused ion beam device capable of reducing contamination of a blanking electrode.例文帳に追加

ブランキング電極のコンタミを低減できる集束イオンビーム装置を提供することにある。 - 特許庁

To eliminate a loss of a beam current by eliminating necessity for performing blanking, and to enhance throughput.例文帳に追加

ブランキングを行う必要をなくすことでビーム電流のロスを無くし、スループットを向上する。 - 特許庁

The charged particle beam device has the blanking mechanism 21.例文帳に追加

また、本発明の荷電粒子ビーム装置は、当該ブランキング機構２１を備える。 - 特許庁