boat loaderとは 意味・読み方・使い方

HEAT-TREATMENT FURNACE BOAT LOADER FOR SEMICONDUCTOR WAFER AND STRUCTURE OF BOAT例文帳に追加

半導体ウエーハの熱処理炉用ボートローダとボートの構造 - 特許庁

The substrate 17 carried into the first load lock chamber 31 is put on a boat to carry it into a heat treatment chamber 12 by a boat loader 29.例文帳に追加

第１のロードロック室３１内に搬入された基板１７は、ボートに搭載され、ボートローダ２９によって熱処理室１２内に搬入される。 - 特許庁

To provide a substrate treating apparatus which is equipped with a substrate loader and can safely load a wafer on a boat without changing the boat even if the number of wafers to be treated is changed.例文帳に追加

基板移載機を具備した基板処理装置に於いて、処理枚数に変更があった場合もボートを変更することなく、ウェーハを安全にボートに移載できる様にする。 - 特許庁

By providing a circulating path 4 capable of circulating a heated oil in the periphery of the boat loader 29, it is configured to be heatable when baking the substrate 17.例文帳に追加

そのボートローダ２９周囲には、加熱されたオイルが循環できる循環路４が配置されており、ベーキングの際に、ボートローダ２９を加熱できるように構成されている。 - 特許庁