butylaminoとは 意味・読み方・使い方

2-(Di-n-butylamino) ethanol発音を聞く 例文帳に追加

二－（ジ－ノルマル－ブチルアミノ）エタノール - 日本法令外国語訳データベースシステム

To provide a method for producing an aminosilane compound, such as bis(tert-butylamino)silane.例文帳に追加

ビス（第三ブチルアミノ）シランの如きアミノシラン化合物を合成するための方法を提供すること。 - 特許庁

This specification provides, for example, a method for producing the bis(tert-butylamino)aminosilane in which tert-butylamine in a stoichiometrically excess amount is reacted with dichlorosilane under such an enough anhydrous condition that a solution containing a product of the bis(tert-butylamino)silane is formed.例文帳に追加

本発明の一つの側面によれば、ビス（第三ブチルアミノ）シラン生成物を含む液を生成するような十分な無水条件下で化学量論的に過剰のｔｅｒｔ−ブチルアミンをジクロロシランと反応させることを含む、ビス（第三ブチルアミノ）シラン製造方法が提供される。 - 特許庁

In the mixture gas, the straight chain organic silicon material gas is (bistertial butylamino)silane; BTBAS(SiH_2[NH(C_4H_9)]_2) gas, and the annular organic silicon material gas is octamethyl cyclotetrasiloxane; OMCTS([(CH_3)_2SiO]_4) gas.例文帳に追加

前記混合ガスは、直鎖状の有機シリコン材料ガスが（ビスターシャルブチルアミノ）シラン；ＢＴＢＡＳ（ＳｉＨ_2［ＮＨ（Ｃ_4Ｈ_9）］_2）ガスであり、環状の有機シリコン材料ガスがオクタメチルシクロテトラシロキサン；ＯＭＣＴＳ（［（ＣＨ_3）_2ＳｉＯ］_4）ガスである。 - 特許庁

To provide a low pressure CVD device capable of suppressing total film thickness by properly specifying an end point of gas cleaning for removing a deposition film, even if an oxide film (BTO) of SiO_2 which is identical with quartz of a reactive tube is formed on the reactive tube as a precoat film for suppressing peeling of nitride film (BTN) of BTBAS (bis tertiary butylamino silane) base.例文帳に追加

ＢＴＢＡＳ（ビス３級ブチルアミノシラン）ベースの窒化膜（ＢＴＮ）の剥離を抑えるため、反応管の石英と同じＳｉＯ_2からなる酸化膜（ＢＴＯ）をプリコート膜として反応管上に形成していても、堆積膜を除去するためのガスクリーニングの終点を適当に定め、総膜厚を抑えることのできる減圧ＣＶＤ装置を提供する。 - 特許庁