cyclotron waveとは 意味・読み方・使い方

The magnetic field applied by the electromagnet and the frequency of the fluctuating voltage applied to the electrodes are adjusted, so that the cyclotron frequency of a charged particle generated in the vacuum vessel matches with the frequency of the sine-wave fluctuating voltages applied to the electrodes.例文帳に追加

該真空容器内に生成した荷電粒子のサイクロトロン周波数と、該電極に印加する正弦波変動電圧の周波数とが一致するように該電磁石による印加磁界と該電極に印加する変動電圧の周波数とを調整する。 - 特許庁

The material gas is preferably supplied in the form of high density plasma excited by electron beam excited plasma method, high frequency parallel plate plasma method, high frequency plasma method employing rudder-like discharge electrodes, electron cyclotron resonance plasma method, induction coupling plasma method, or helicon wave plasma method.例文帳に追加

原料ガスはプラズマ化して供給することが望ましく、プラズマの励起法としては電子ビーム励起プラズマ法、高周波平行平板プラズマ法、ラダー状の放電電極を用いた高周波プラズマ法、電子サイクロトロン共鳴プラズマ法、誘導結合型プラズマ法あるいはヘリコン波プラズマ法等の高密度プラズマを用いることを特徴とする。 - 特許庁

A permanent magnet 27 is embedded in a part of the plasma generating chamber 21, a zone 28 for partial electronic cyclotron resonance is formed by the magnetic field of the permanent magnet 27 produced in the plasma generating chamber 21 and microwave power Po radiated into the plasma generating chamber 21, and surface wave plasma 29 is ignited with the zone 28 as seed plasma at the initial stage of supplying the microwave power.例文帳に追加

プラズマ発生室２１の一部に永久磁石２７を埋設し、プラズマ発生室２１内に発生する永久磁石２７の磁界とプラズマ発生室２１に放射されるマイクロ波電力Ｐｏとにより局部的な電子サイクロトロン共鳴のゾ−ン２８を生成し、マイクロ波電力の供給初期において、そのゾ−ン２８を種プラズマとして表面波プラズマ２９を点火させる構成としてある。 - 特許庁