damassinとは 意味・読み方・使い方

MANUFACTURING METHOD FOR COPPER DAMASCENE STRUCTURE, AND COPPER DAMASSIN STRUCTURE例文帳に追加

銅ダマシン構造の製造方法および銅ダマシン構造 - 特許庁

To provide technology in which the performance and the reliability of an SRAM can be improved by manufacturing an SRAM memory cell equipped with a coupling capacitor while using a damassin gate process.例文帳に追加

ダマシンゲートプロセスを用いてカップリング容量を備えたＳＲＡＭメモリセルを製造し、ＳＲＡＭの性能向上および高信頼度化を図ることのできる技術を提供する。 - 特許庁

To provide a photo mask and a production method for semiconductor device, with which accuracy in the alignment of a via hole in a dual damassin structure and an upper wiring layer is improved and a recess or step is prevented from being generated by wiring materials in a hole for alignment.例文帳に追加

デュアルダマシン構造のビアホールと上層配線層の位置合わせ精度を高めるとともに、位置合わせ用のホールにおける配線材料による凹みや段差の発生を防止したフォトマスク及び半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a copper damassin structure wherein the mismatch of dynamical characteristics between inorganic insulating layers used for a copper diffusion prevention insulating layer, a wiring layer, and a via layer is eliminated, and troubles such as exfoliation and cracking ocurring in a CMP process in damascene formation and upon a heat cycle are solved.例文帳に追加

銅拡散防止用絶縁層と配線層、ビア層に用いられる無機絶縁層間の力学特性のミスマッチを解消し、ダマシン形成におけるＣＭＰ工程やヒートサイクル時に生じる剥離、亀裂発生などの問題点を解決する銅ダマシン構造体を提供する。 - 特許庁