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feed back loopsとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 フィードバックループ
「feed back loops」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 2件
To raise symmetry of response characteristic among feed back loops in synchronization position control between an original stage and a substrate stage in a scanning exposure apparatus.例文帳に追加
走査露光装置における原板ステージと基板ステージ間の同期位置制御において、フィードバックループ間における応答特性の対称性を高める。 - 特許庁
A movement of a base chuck to a stage mirror is compensated dynamically, by sensing a displacement of the base chuck 106 to the stage mirror 110, and by combining a signal proportional to the displacement in one or more feed back loops having one or both among Z stage actuator 126 and XY stage actuators 146,148 combined with the stage mirror.例文帳に追加
ステージミラー１１０に対する基材チャック１０６の変位を感知し、ステージミラーへ結合されているＺステージアクチュエータ１２６及びＸＹステージアクチュエータ１４６、１４８のうちの一方又は両方を有する１つ以上のフィードバックループにおける変位に比例する信号を結合することによって、ステージミラーに対する基材チャックの運動が動的に補償される。 - 特許庁
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rockabye
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