flatbandとは 意味・読み方・使い方

The equivalent oxidation film thickness CET, maximum capacitance Cox, flatband voltage Vfb, and other property of the semiconductor wafer or the sample are measured from the measured reaction using inductive method.例文帳に追加

帰納法を利用して、この測定された反応から、半導体ウエハ又はサンプルの等価酸化膜厚ＣＥＴ、最大キャパシタンスＣｏｘ、フラットバンド電圧Ｖｆｂ及びその他の特性が測定される。 - 特許庁

To provide a film forming method of a thin insulating film having preferred characteristics with a low flatband voltage and a low interface state by employing an ALD method having a first step for depositing silicon atoms and a second step for nitriding the silicon atoms.例文帳に追加

絶縁膜の成膜方法において、シリコン原子を堆積させる第１ステップと、シリコン原子を窒化する第２ステップとを有するＡＬＤ法を用い、フラットバンド電圧及び界面準位の小さい好適な特性を有する薄い絶縁膜の成膜方法を提供する。 - 特許庁