gas interferometerとは 意味・読み方・使い方

The laminar flow 51 of the gas under test has been fed to an entire optical measurement path between the gas side reflecting mirror 13B and a gas laser interferometer 30 formed by a gas laser beam Pb.例文帳に追加

気体レーザ光束Ｐｂが形成する気体側反射鏡１３Ｂと気体レーザ干渉計３０との間の光学的測長光路全体に被検気体の層流５１を流した。 - 特許庁

To provide an imprint apparatus capable of quickly filling gas in a gap between a substrate and a mold in high concentration at the time of imprint processing, while suppressing the gas leak to an optical path of an interferometer.例文帳に追加

干渉計の光路へのガス漏れを抑制しつつ、インプリント処理時に基板とモールドとの隙間にガスを迅速に高い濃度に充填させるインプリント装置を提供する。 - 特許庁

To provide an adjustment system capable of performing accurate and stable measurement by properly controlling gas-pressure-temperature conditions in a space in which beams propagate, in an interferometer system that measures a table position.例文帳に追加

テーブル位置測定のための干渉計システムにおいてビームが伝搬する空間の気体圧力温度条件を適正に制御することにより精度の高い安定した計測が可能な調整システムを提供する。 - 特許庁

To reduce the effect of gas fluctuation and improve measurement accuracy, by eliminating both of positioning error of measurement with an interferometer and an error due to principles of Abbe by position detection sensor using diffraction grating.例文帳に追加

干渉計による計測位置決め誤差と、回折格子を用いる位置検出センサーによるアッベの原理に基づく誤差の両者を排除し、気体ゆらぎの影響低減と計測精度の向上を図るステージ位置計測および位置決め装置である。 - 特許庁

The device has stages 1 and 2 having a direct action guiding mechanism, laser interferometers 3a and 3b and two positioning measurement means in the axial direction of position detection sensors 8a, 9a; 8b, 9b, which are less likely to be affected by the variations in the refractivity of gas, as compared with the laser interferometer.例文帳に追加

装置は、直動案内機構を有するステージ１，２と、レーザー干渉計３ａ，３ｂと、レーザー干渉計よりも気体の屈折率変化に影響を受け難い位置検出センサー８ａ，９ａ；８ｂ，９ｂという一軸方向に２つの位置計測手段を有する。 - 特許庁