Gas Introduction Systemとは 意味・読み方・使い方

Using a deposited film formation system provided with at least two gas introduction systems, a gaseous starting material is introduced from a first gas introduction system, at this time, a dilution gas is introduced from another gas introduction system, and on the switching of the deposited film, the gas introduction system is also switched.例文帳に追加

少なくとも２つのガス導入系統を設けた堆積膜形成装置を用い、、第１のガス導入系統から原料ガスを導入し、その際にその他のガス導入系統からは希釈ガスを導入して膜を堆積し、堆積膜の切換え時にはガス導入系統も切換えることにより上記課題は達成される。 - 特許庁

A gas introduction valve 19 in an air supply system and a gas exhaust valve 35 in an exhaust system are annexed to a stage 7.例文帳に追加

給気系のガス導入弁１９及び排気系のガス排気弁３５はステージ７に付設されている。 - 特許庁

The sputtering gas is introduced in the discharging space 18 by a sputtering gas introduction system 30, and the reaction gas is introduced in the container 10 by a reaction gas introduction system 31 from the outside of the discharging space 18.例文帳に追加

スパッタリングガスは、スパッタリングガス導入系３０より放電空間１８に導入され、反応ガスは反応ガス導入系３１より放電空間１８外から容器１０内に導入される。 - 特許庁

The gas introduction system 62 makes gas blow off from the gas nozzle through the discharge electrode 631 and introduces it.例文帳に追加

ガス導入系６２は、放電用電極６３１内を経由させてガス吹き出し孔からガスを吹き出させて導入する。 - 特許庁

Since the fuel gas exhaust system is opened before the fuel gas introduction system is opened, even if high instantaneous pressure at the beginning of the introduction of the fuel gas is applied to the fuel cell, the instantaneous pressure is released to the fuel gas exhaust system.例文帳に追加

燃料ガス導入系を開く前に燃料ガス排出系を開いておくので、燃料ガスの導入当初高い瞬時圧が燃料電池に印加されたとしても、この瞬時圧は開かれた燃料ガス排出系へ逃がされる。 - 特許庁

The surface-wave-excited plasma CVD apparatus 100 is provided with a material gas introduction system 10 and a discharge gas introduction system 30; and estranges a material gas G1 with surface-wave-excited plasma P to form the film of the estranged component on the substrate S.例文帳に追加

表面波励起プラズマＣＶＤ装置１００は、材料ガス導入システム１０と放電ガス導入システム３０を備え、表面波励起プラズマＰにより材料ガスＧ１を乖離して基板Ｓに成膜する。 - 特許庁

To provide a system, being a system to inject gas in environment, spreading a fuel jet over a wide range by feeding injection gas to a further remote spot, and having higher introduction gas concentration.例文帳に追加

環境内へガスを吹き込むためのシステムであって、吹込みガスをより遠くまで送って燃料ジェットを広範囲に広げるとともに、より高い導入ガス濃度を有するシステムを提供する。 - 特許庁

To enable stable control, without the need for atmospheric air introduction and inert gas introduction, simplify the structure of an exhaust system and reduce cost.例文帳に追加

大気導入や不活性ガス導入を必要とすることなく安定な制御を可能とすると共に、排気系の構造を簡素化し、コストの低減を図る。 - 特許庁