impingement rateとは 意味・読み方・使い方

To provide a plasma ashing process for reducing the temperature at an impingement portion i.e., center portion, of a baffle plate, while maintaining or enhancing the photoresist removal rate.例文帳に追加

フォトレジスト除去速度を維持又は増進しながら、バッフルプレートの衝突部分、すなわち、中心部分で、温度を低下させるプラズマアッシング法を提供する。 - 特許庁

As lift rate X which is a movement length ratio to the maximum movement length from a valve close state to a full open sate increases, flow receiving area S(X) receiving impingement of fuel increases.例文帳に追加

閉弁状態から全開状態までの最大移動長に対する移動長比率であるリフト率Ｘの増加につれて、燃料の衝突を受ける受流面積Ｓ（Ｘ）は増加する。 - 特許庁

That is, the supply rate of the mixture K in accordance with the position at which the mixture K within the substrate surface is supplied or each of impingement level of which the mixture K impinges against the substrate surface is controlled.例文帳に追加

つまり、基板面内の混合物Ｋを供給する位置に応じて混合物Ｋの供給量や、混合物Ｋが基板面に衝突する衝突レベルのそれぞれが調整される。 - 特許庁