internal reactionとは 意味・読み方・使い方

In a semiconductor manufacturing equipment where an internal reaction pipe 6 is provided inside an external reaction pipe 1 for demarcating an airtight reaction chamber, a reaction gas is introduced into a reaction chamber 17, and a substrate 26 to be treated is heated for film-forming treatment, a height adjustment means 52 is provided at the part between the internal and external reaction pipes.例文帳に追加

外部反応管１の内部に内部反応管６が設けられて気密な反応室が画成され、該反応室１７へ反応ガスが導入され、被処理基板２６が加熱されて成膜処理される半導体製造装置に於いて、前記内部反応管と外部反応管とに掛渡って、高さ調整手段５２を設けた。 - 特許庁

To provide a solid oxide fuel cell with a reaction rate of an internal reforming controlled to lower internal stress.例文帳に追加

内部応力が低くなるように、内部改質の反応速度が制御された固体酸化物燃料電池を提供する。 - 特許庁

To adjust the clearance between external and internal reaction pipes over an entire range in a semiconductor manufacturing equipment with the external and internal reaction pipes.例文帳に追加

外部反応管と内部反応管とを有する半導体製造装置に於いて、外部反応管と内部反応管との隙間を全範囲に亘り調整可能とする。 - 特許庁

To provide an internal combustion type gas turbine device capable of sufficiently utilizing a hydrolysis reaction.例文帳に追加

加水分解反応の利用を十分に図った内燃式ガスタービン装置を得る。 - 特許庁

The target cell has a moving body 160 for stirring the first reaction gas in the first internal reaction gas passage.例文帳に追加

注目セルは、さらに、第１の内部反応ガス通路内で第１の反応ガスを撹拌するための可動体１６０を備える。 - 特許庁

REACTION RATE CONTROL DEVICE AND METHOD OF INTERNAL REFORMING OF SOLID OXIDE FUEL CELL例文帳に追加

固体酸化物燃料電池の内部改質の反応速度を制御する装置及び方法 - 特許庁

Although deposition of the reaction product does not occur if an internal temperature is a pump preset temperature threshold or higher, there is the potential for deposition of the reaction product if the internal temperature is lower than the pump preset temperature threshold.例文帳に追加

内部温度がポンプ設定温度閾値以上であれば、反応生成物の堆積は生じることはないが、ポンプ設定温度閾値未満であれば堆積が生じる可能性がある。 - 特許庁

This output state detector of an internal combustion engine detects reaction torque of a generator 3, and detects the output state of the internal combustion engine 1 from the reaction torque.例文帳に追加

本発明の内燃機関の出力状態検出装置は、発電機３のトルク反力を検出して、このトルク反力から内燃機関１の出力状態を検出するものである。 - 特許庁