isothermal zoneとは 意味・読み方・使い方

Then, in the step of the next step S2, by applying isothermal annealing to the wafer in an oxygen-containing gas atmosphere then applying rapid heat reduction thereto, solid solution oxygen is injected to the surface layer part of the DZ (Denuded Zone) layer or silicon epitaxial layer of the wafer, and the concentration is adjusted.例文帳に追加

そして、次のステップＳ２の工程において、上記ウェーハを酸素含有ガス雰囲気中で等温熱処理しその後に急速降温を施すことによって、ウェーハのＤＺ層あるいはシリコンエピタキシャル層の表層部に固溶酸素の注入およびその濃度の調節を行う。 - 特許庁

An isothermal, low pressure-based process of depositing a material in a substrate creates a narrow deposition zone within which a more uniform and efficient deposition will occur.例文帳に追加

基材内部に物質を堆積する等温低圧ベースのプロセスにより、より均一で効率のよい堆積が生じる、狭い堆積区間を生成し、堆積した物質がスート粒子ではなく透明なガラスであることを確実にする等温プラズマの動作条件の一連の組合せを用いる。 - 特許庁

The range is a super-plastic zone of the Ti-Al intermetallic compound, that is a zone in which a phenomenon showing an abnormally large elongation occurs, and the member of a complicated shape can be obtained by the isothermal forging in the above temperature range, that is, by the forging to be performed at the same die temperature as the super-plastic temperature of a material.例文帳に追加

この範囲はＴi−Ａl金属間化合物の超塑性領域、即ち、異常に大きな延びを示す現象が起こる領域であり、この温度領域内で恒温鍛造、即ち、金型温度を加工する材料の超塑性温度と同一の温度にして行う鍛造で複雑な形状の部材を得ることができる。 - 特許庁