micro-cantileverとは 意味・読み方・使い方

When a micro actuator is manufactured, a part of the Si substrate being under the cantilever is etched, after the cantilever is formed on the Si substrate.例文帳に追加

マイクロアクチュエータを製作する場合は、Ｓｉ基板上に片持ち梁部を形成した後、Ｓｉ基板における片持ち梁部の下側部分をエッチングする。 - 特許庁

To provide a piezoelectric high frequency micro-machine switch in which a cantilever and a CPW wiring line can be formed on one base plate and the above cantilever drives downward.例文帳に追加

本発明の目的は、カンチレバーとＣＰＷ配線ラインが一つの基板に形成でき、前記カンチレバーが下方に駆動する圧電高周波マイクロマシンスイッチを提供することにある。 - 特許庁

To provide a micro cantilever obtaining a larger displacement amount with a simple structure and at a low voltage.例文帳に追加

簡単な構造でかつ低電圧でより大きな変位量を得ることができるマイクロカンチレバーを提供する。 - 特許庁

DROPLET DISCHARGE HEAD, ENERGY CONVERSION ELEMENT, PIEZOELECTRIC DEVICE, MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURE, CANTILEVER TYPE ACTUATOR, PIEZO-ELECTRIC SENSOR, AND PIEZO-ELECTRIC LINEAR MOTOR例文帳に追加

液滴吐出ヘッド、エネルギー変換素子、圧電デバイス、ＭＥＭＳ構造、カンチレバー型アクチュエータ、圧電センサー及び圧電リニアモータ - 特許庁

The tip center of the probe is easily located and a processed location is determined by wholly tilting a micro cantilever 6.例文帳に追加

マイクロカンチレバー６全体を傾斜させることで、探針先端中心を判別しやすくして加工位置の決定をする。 - 特許庁

To provide a probe and a method for manufacturing the probe that can improve the binding force between a probe body and a micro cantilever and can form the micro cantilever overhung from the probe body into a desired shape and desired dimensions.例文帳に追加

プローブ本体と微小カンチレバーとの間の結合力を向上させることができるとともに、プローブ本体からオーバーハングした微小カンチレバーを所望の形状や寸法に形成することができるプローブおよびプローブの製造方法を提供する。 - 特許庁

A micro-machining device 1 is provided which is characterized in that a fluid 4 is made to flow out through the micro-opening 15 from the inside of a projection 13 in the device provided with a cantilever 3a having a cantilever portion 12 supported at one end, the projection 13 projectingly provided from the cantilever portion 12 and the micro-opening 15 formed penetratingly in the projection 13 in its projecting direction.例文帳に追加

一端を支持されるカンチレバー部１２、該カンチレバー部１２から突設された突出部１３及び該突出部１３にその突出方向に貫通形成された微小開口１５とを有するカンチレバー３ａを具備する装置であって、前記突出部１３の内部から前記微小開口１５を介して流体４を流出することを特徴とする微細加工装置１。 - 特許庁

In a probe 1, a probe body 2 and a micro cantilever 3 are integrally formed by a single plating process.例文帳に追加

本発明のプローブ１においては、プローブ本体２および微小カンチレバー３が１回のめっき処理により一体形成される。 - 特許庁