microcrystallitesとは 意味・読み方・使い方

A silicon microcrystalline film is formed on a transparent substrate so as to contain microcrystallites therein (S1).例文帳に追加

微結晶子を含むように、シリコンの微結晶膜を透明基板上に成膜する（Ｓ１）。 - 特許庁

Thereafter the microcrystalline film is polycrystallized with the remaining microcrystallites used as seed crystals (S3).例文帳に追加

その後、残留した微結晶子を種結晶として、微結晶膜を多結晶化する（Ｓ３）。 - 特許庁

This method includes the steps of depositing amorphous substance, having microcrystallites buried therein to form a microcrystalline film on a substrate (step S2), annealing the formed microcrystalline film so as to selectively melt microcrystallites therein (step S3), and cooling the heated and melted microcrystalline film by annealing carried out at the step S3 (step S4).例文帳に追加

微晶子が埋設された非晶質物質を堆積して、微結晶フィルムを基板上に形成する工程（ステップＳ２）と、形成された微結晶フィルムの微晶子を選択的に溶融するようにアニールする工程（ステップＳ３）と、ステップＳ３で行われたアニールにより加熱溶融された微結晶フィルムを冷却する工程（ステップＳ４）とを含む。 - 特許庁

A method which forms a polycrystalline silicon film from a microcrystal silicon film includes a step of depositing a microcrystalline silicon film 14 including microcrystallites buried in amorphous substance, a step of annealing the deposited film 14 and, at least, partially forming a polycrystalline film, and a step of promoting formation of uniform crystal particles 28, 30 having comparatively large size by allowing the amorphous substance to contain buried seed crystals 16.例文帳に追加

微結晶膜から多結晶膜を形成する方法であって、方法は、ａ）アモルファス物質に埋め込まれたマイクロクリスタライトを含む微結晶膜を堆積するステップと、ｂ）ステップａ）において堆積された膜をアニールして、少なくとも部分的に多結晶膜を形成するステップであり、それにより、埋め込まれたシードクリスタルをアモルファス物質内に含むことで比較的大きなサイズを有する均一な結晶粒子の形成を促進するステップとを含む方法が提供される。 - 特許庁