minimal sensitivityとは 意味・読み方・使い方

To provide a positive resist material which exhibits a high sensitivity and a high resolution in exposure with high-energy radiation, exhibits a minimal line edge roughness due to controlled swell during development, and leaves minimal residues following development.例文帳に追加

高エネルギー線での露光において、高感度で高解像性を有し、また、現像時の膨潤が抑えられるためラインエッジラフネスが小さく、現像後の残渣が少ないポジ型レジスト材料を提供する。 - 特許庁

To provide a positive resist material having a high sensitivity and a high resolution in exposure with a high energy line and ensuring a minimal line edge roughness and little residue after development.例文帳に追加

高エネルギー線での露光において高感度で高解像性を有し、ラインエッジラフネスが小さく、現像後の残渣が少ないポジ型レジスト材料を提供する。 - 特許庁

To provide a positive resist material exhibiting a high sensitivity, a high resolution, and a minimal line edge roughness due to controlled swell during development when exposed to high-energy radiation and developed, and hardly leaving residue after the development.例文帳に追加

高エネルギー線での露光において、高感度で高解像性を有し、また、現像時の膨潤が抑えられるためラインエッジラフネスが小さく、現像後の残渣が少ないポジ型レジスト材料を提供する。 - 特許庁

To solve the problem that it is difficult to grasp occurrence tendency of a defect since a defect size becoming fatal is miniaturized with miniaturization of a pattern and manufacturing tolerance which is originally not a defect is detected when sensitivity of a fault inspecting device is improved for detecting the minimal defect in a semiconductor manufacturing process.例文帳に追加

半導体製造プロセスにおいて，パターン微細化に伴い，致命となる欠陥サイズも微小化しており，微細な欠陥を検出するために欠陥検査装置の感度を上げると，本来は欠陥ではない製造公差などを検出してしまい，欠陥の発生傾向を捕らえることが困難となる。 - 特許庁