mirror interferometerとは 意味・読み方・使い方

Laser light 18a emitted from the first interferometer 18 along the X axis is reflected by the first mirror 34, the second mirror, and the third mirror 38 to be incident on the first interferometer 18.例文帳に追加

第１干渉計１８からＸ軸方向に発射されたレーザ光１８ａは、第１ミラー３４、第２ミラー、第３ミラー３８に反射されて、第１干渉計１８に入射する。 - 特許庁

The reflecting mirror and the interferometer may be provided to both ends of the member to be measured.例文帳に追加

反射鏡および干渉計を被測定部材の両端に設けてもよい。 - 特許庁

To provide a lithography system equipped having an interferometer for measuring the position of a mirror.例文帳に追加

ミラーの位置を測定する干渉計を有するリソグラフィ装置を提供する。 - 特許庁

To provide an optical multilayer film mirror having a broad high reflection band and a Fabry-Perot interferometer equipped with the optical multilayer film mirror.例文帳に追加

高反射帯域が広い光学多層膜ミラーおよびそれを備えたファブリペロー干渉計を提供する。 - 特許庁

To measure a variation in height of a stage by an interferometer system and to hold flexibility in disposing a moving mirror, etc. for other interferometer high.例文帳に追加

干渉計方式でステージの高さの変化を計測すると共に、他の干渉計用の移動鏡等の配置の自由度を高く保つ。 - 特許庁

A mirror is provided on the object stage, the interferometer is provided on a member supporting the base of the stage, and a position of the object stage is measured by the mirror and the interferometer.例文帳に追加

対象物ステージにはミラーが設けられ、干渉計装置がステージのベースを支持する部材に設けられ、ミラーと干渉計装置により対象物ステージの位置を測定する。 - 特許庁

To provide a two-beam interferometer capable of accurately stopping a rotary mirror on a center burst position by repeatedly rotating the rotary mirror by small energy.例文帳に追加

少ないエネルギーで回転鏡を反復回動させて正確にセンターバースト位置に停止できる二光束干渉計の提供。 - 特許庁

A laser interferometer 13X1 is equipped with an optical path changing device 40 having a movable mirror 410 and a fixed mirror 420.例文帳に追加

レーザ干渉計１３Ｘ１は可動ミラー４１０及び固定ミラー４２０を有する光路変更装置４０を備えている。 - 特許庁