neutral plasmaとは 意味・読み方・使い方

To provide a plasma medium battery using plasma including mixture of weakly ionized plasma and neutral gas as a medium of the battery.例文帳に追加

電池の媒質としてプラズマ（不完全電離プラズマと中性ガスとの混合状態のプラズマを含む）を用いて、プラズマ媒質電池を提供すること。 - 特許庁

As an etching device, a magnetic neutral loop discharge plasma etching device is preferably used.例文帳に追加

エッチング装置としては、磁気中性線放電プラズマエッチング装置を用いることが好ましい。 - 特許庁

Also, in a neutral particle beam generation chamber 8, a large amount of negative ions are generated from plasma.例文帳に追加

一方、中性粒子ビーム生成室８では、プラズマから多量の負イオンが発生する。 - 特許庁

On the other hand, a desired distribution of ions and neutral species in plasma is established using the ion/neutral species shield in order to etch the photomask.例文帳に追加

その一方、フォトマスクをエッチングするために、イオン・中性種シールドを用いてプラズマのイオンと中性種の所望の分布を確立する。 - 特許庁

To provide a magnetic neutral line discharge plasma generation device for ion implantion system, plasma etching system, plasma CVD system or the like, which is free of interference or disturbances by an external magnetic fields.例文帳に追加

外部磁場による干渉や擾乱等のない、イオン注入装置、プラズマエッチング装置、プラズマＣＶＤ装置等用の磁気中性線放電プラズマ発生装置を提供する。 - 特許庁

The plasma is generated by a magnetic neutral line discharge in the plasma generating chamber 101, and the generated plasma is extracted from the chamber 101 into a processing chamber 102 through a communicating hole 108.例文帳に追加

磁気中性線放電によりプラズマ生成室１０１の中にプラズマが生成され、生成されたプラズマが連通孔１０８から処理室１０２に引き出される。 - 特許庁

To provide a plasma processing method capable of accurately detecting the endpoint of cleaning of a magnetic neutral line discharge (NLD) plasma etching apparatus.例文帳に追加

磁気中性線放電（ＮＬＤ）プラズマエッチング装置のクリーニングの終点を制度良く検出することが可能なプラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁

To enable the quantification of neutral fat or cholesterol contained in respective blood plasma lipoproteins by simple manipulation.例文帳に追加

各血漿リポ蛋白質に含まれる中性脂肪又はコレステロールを簡単な操作で定量可能とする。 - 特許庁