overetchとは 意味・読み方・使い方

To provide a method for fabricating a highly reliable semiconductor storage device in which a resist layer does not become thin at the end of a memory cell array and the overetch margin is enlarged.例文帳に追加

メモリセル部分の配列端部においてレジスト層が薄くならず、オーバーエッチ・マージンを広げる高信頼性の半導体記憶装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of forming a test pattern of a semiconductor device that allows recognizing an overetch or an underetch occurring at a side wall after an etching process.例文帳に追加

エッチング工程後に側壁で発生するオーバーエッチングまたはエッチング不足を確認することが可能な半導体素子のテストパターン形成方法を提供すること。 - 特許庁

Furthermore, comparison of the surface potential with a reference value after a fixed time, measurement of a residual film amount based on the time dependence of the surface potential, and estimation of an overetch are carried out.例文帳に追加

さらに、一定時間後の表面電位の基準値との比較や、表面電位の時間依存性により残膜量の測定、オーバエッチ量の推定を行う。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing an actuator apparatus which is capable of acquiring an overetch amount of a lower electrode and makes characteristics of a piezoelectric element uniform, a method of manufacturing a liquid jet head, a liquid jet head, and a liquid jet apparatus.例文帳に追加

下電極をオーバーエッチングしたエッチング量を取得することができると共に、圧電素子の特性が均一化されたアクチュエータ装置の製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。 - 特許庁