overetchingとは 意味・読み方・使い方

Thereafter, the energy of the argon gas is reduced, and overetching is conducted under etching conditions which can secure a selection ratio with the gate 4.例文帳に追加

その後、アルゴンガスのエネルギを減少させゲート４との選択比の確保できるエッチング条件にてオーバーエッチングを行なう。 - 特許庁

Under etching condition of high selectivity to a silicon nitride film, an upper layer of a silicon oxide film 14 is etched with sufficient overetching amount.例文帳に追加

そして、対シリコン窒化膜高選択性のエッチング条件で、シリコン酸化膜１４上層を充分なオーバーエッチ量によりエッチングする。 - 特許庁

To prevent the semiconductor layer of a photodiode region from being damaged by a sidewall overetching process, thereby also preventing the generation of dark current.例文帳に追加

側壁オーバーエッチング工程によりフォトダイオード領域の半導体層が損傷することを防止し、これにより、暗電流の発生も防止する。 - 特許庁

By this setup, silicon removed from the silicon substrate 1 due to overetching and the formation of silicide can be reduced in amount.例文帳に追加

これにより、オーバーエッチングおよびシリサイド化によってシリコン基板１から消失するシリコンの量を低減させることができる。 - 特許庁

To provide the manufacturing method of a DRAM which can prevent overetching of polysilicon forming a storage node.例文帳に追加

ストレージノードを形成するポリシリコンの過エッチングを防止できるＤＲＡＭの製造方法を提供する。 - 特許庁

At this time, the bottoms of the contact holes 11 are recessed from the surface of a silicon substrate 1 through overetching of the stopper film 9.例文帳に追加

この際、ストッパー膜９のオーバーエッチングによって、コンタクトホール１１の底面をシリコン基板１の表面よりリセスする。 - 特許庁

To provide a compact piezoelectric vibration element with small frequency deviation from a predetermined frequency due to overetching.例文帳に追加

小型で、オーバーエッチングにより所定の周波数からの周波数偏差の少ない圧電振動素子を得る。 - 特許庁

To prevent remaining of unetched parts and overetching, even when simultaneously patterning a high concentration region and a low concentration region.例文帳に追加

高密度領域と低密度領域とを同時にパターニングする場合であっても、エッチング残りやオーバーエッチングを防止する。 - 特許庁