overpolishとは 意味・読み方・使い方

Overpolish of a wafer and its related problem can be avoided.例文帳に追加

ウェーハのオーバポリッシュ、およびその関連した問題は回避される。 - 特許庁

To remove a Cu layer formed on a substrate, e.g. a semiconductor wafer, uniformly and to polish fine trenches made in the surface of the substrate and/or a Cu interconnection part formed in fine holes flatly and uniformly without causing any overpolish, e.g. dishing or erosion.例文帳に追加

半導体ウエハ等の基板上に形成されたＣｕ層を均一に除去し、基板面上に形成された微細溝及び／又は微細孔に形成されたＣｕ配線部をディッシングやエロージョン等のオーバーポリッシュ（過研磨）を生ずることなく平坦かつ均一に研磨する。 - 特許庁