ozone densitometerとは 意味・読み方・使い方

To provide a method for judging abnormality of an ozone water densitometer capable of clearly judging the cause of abnormality.例文帳に追加

異常の原因を明確に判別できるオゾン水濃度計の異常判定方法を提供する。 - 特許庁

A repetition frequency of pulse irradiation is controlled based on the ozone concentration or the ozone partial pressure measured by the ozone densitometer 13, when the surface of the substrate is pulse-irradiated with the light within the ultraviolet area.例文帳に追加

前記基板の表面に紫外光領域の光をパルス照射する場合、オゾン濃度計１３によって測定されたオゾン濃度またはオゾン分圧に基づき前記パスル照射の繰り返し周波数が制御される。 - 特許庁

At the time of measuring ozone concentration in the aqueous solution of ozone, the aqueous solution of ozone at a temperature of 50°C-80°C is cooled through a cooler 18 down to a temperature of 0°C-40°C and fed, at a constant flow rate, to the ozone densitometer 19 by means of a constant volume pump 17.例文帳に追加

そして、オゾン水溶液のオゾン濃度を測定する際に、５０℃以上８０℃以下の温度のオゾン水溶液は、冷却器１８で０℃よりも高く４０℃以下の温度に冷却されるとともに、定量ポンプ１７により一定流量でオゾン濃度計１９へ供給される。 - 特許庁

A vacuum pump 14 controls a supply flow rate of a gas containing ozone, based on an ozone concentration or ozone partial pressure of the gas after supplied to the substrate, measured by an ozone densitometer 13, when forming the oxide film on a surface of the substrate by supplying the gas containing the ozone from an ozone supply device 11 to the substrate in an oxidation treatment chamber 12.例文帳に追加

オゾン供給装置１１からオゾンを含んだガスを酸化処理チャンバ１２内の基板に供給して前記基板の表面に酸化膜を形成させるにあたり真空ポンプ１４はオゾン濃度計１３によって測定された前記基板に供された後のガスのオゾン濃度またはオゾン分圧に基づき前記オゾンを含んだガスの供給流量を制御する。 - 特許庁

A controller 24 is connected to an activated sludge densitometer 27, an air supply valve 38, and an ozone supply valve 40, and switching of the diffusion through the fine bubble diffusion pipe 18 is controlled from the measured values sent from the activated sludge densitometer 27.例文帳に追加

コントローラ２４は活性汚泥濃度計２７、エア供給弁３８、及びオゾンガス供給弁４０と接続し、活性汚泥濃度計２７から送信された測定値を基にして、微細気泡散気管１８の散気の切り替えが制御される。 - 特許庁

In order to perform ozone treatment corresponding to the characteristics of sludge, a sludge densitometer is arranged to the sludge supply pipe 2 or a viscometer is attached to a water level adjusting tank 7.例文帳に追加

また、汚泥の特性に対応したオゾン処理を行なうべく、汚泥供給管２に汚泥濃度計が設置されるか、若しくは水位調整槽７に粘度計が付帯される。 - 特許庁