ozone monitoringとは 意味・読み方・使い方

OZONE MONITORING DEVICE例文帳に追加

オゾン監視装置 - 特許庁

APPARATUS FOR MONITORING OZONE GAS例文帳に追加

オゾンガス監視装置 - 特許庁

OZONE CONCENTRATION METER AND OZONE CONCENTRATION MONITORING KIT WITH THE OZONE CONCENTRATION METER例文帳に追加

オゾン濃度計及び該オゾン濃度計を備えたオゾン濃度監視用キット - 特許庁

To prevent liquid ozone exceeding a design limit of an ozone chamber from being accumulated in the ozone chamber by monitoring an ozone amount in the ozone chamber during accumulation of ozone, and to operate safely a high-concentration ozone gas generation device.例文帳に追加

オゾン蓄積時に、オゾンチャンバ内のオゾン量を監視することで、オゾンチャンバの設計限界を超えた液体オゾンがオゾンチャンバに蓄積することを防止し、高濃度オゾンガス生成装置を安全に稼動する。 - 特許庁

To provide an ozone gas monitoring apparatus for preventing the concentration of ozone from rising in a building where an ozone generating apparatus is installed and ozone from leaking to the atmosphere.例文帳に追加

オゾン発生装置が設けられた建屋内におけるオゾン濃度の上昇を防ぐと共に、オゾンの大気中への漏洩を防止し得るオゾンガス監視装置を提供する。 - 特許庁

A mixed gas containing hydrogen fluoride and ozone is jetted to a semiconductor wafer surface, which then is monitored to control concentration of hydrogen fluoride and/or ozone on the basis of a monitoring result.例文帳に追加

半導体ウェーハ表面にフッ化水素及びオゾンを含む混合ガスを噴射し、その半導体ウェーハ表面をモニタし、モニタ結果に基づいて、フッ化水素及び／又はオゾンの濃度を調整する。 - 特許庁

To provide an ozone monitoring device which is applied to most of water purification systems or the like without spending initial costs and maintenance costs.例文帳に追加

イニシャルコストやメンナンス費用がかからずに大部分の水浄化システムなどに適用することができるオゾン監視装置を提供する。 - 特許庁