photolithographic negativeとは 意味・読み方・使い方

To provide a photoresist composition useful in forming fine patterns using negative tone development processes and a method of forming photolithographic patterns.例文帳に追加

ネガティブトーン（ｎｅｇａｔｉｖｅ ｔｏｎｅ）現像プロセスを用いて微細パターンの形成に有用なフォトレジスト組成物およびフォトリソグラフィパターンを形成する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of forming a photolithographic pattern using a negative tone development process particularly applicable in the manufacture of electronic devices, and coated substrates and electronic devices formed by the methods.例文帳に追加

電子デバイス製造に特別な適用可能性が見いだされるネガ現像プロセスを用いてフォトリソグラフィパターンを形成する方法の提供、及びこの方法によって形成されるコーティングされた基体および電子デバイスの提供。 - 特許庁

By a method of forming photolithographic patterns using negative tone development of particular combinations of organic developers, excellent lithographic performance can be provided while avoiding or minimizing negative characteristics of the individual developers.例文帳に追加

特定の組み合わせの有機現像剤のネガティブトーン現像を用いたフォトリソグラフィパターンを形成する方法により、個々の現像剤の良くない特性を回避するかもしくは最小限にしつつ、優れたリソグラフィ性能を提供できる。 - 特許庁

To provide a photoresist composition excellent in photo speed, critical demension (CD) uniformity, dissolution rate in negative tone developer (NTD) and pattern fidelity; a coated substrate comprising a layer of the photoresist composition; and a method of forming photolithographic patterns.例文帳に追加

フォトスピード、限界寸法（ｃｒｉｔｉｃａｌ ｄｅｍｅｎｓｉｏｎ；ＣＤ）均一性、ネガティブトーン現像剤（ＮＴＤ）中での溶解速度、及び、パターン忠実度に優れた、フォトレジスト組成物、フォトレジスト組成物の層を含むコーティングされた基体及びフォトリソグラフィパターンを形成する方法を提供する。 - 特許庁

To provide an improved polymer and photoresist composition in which the formation of a fine pattern in an electronic device production is enabled, and at least one of problems (separately described) relating to a newest technology can be avoided or remarkably improved, and to develop a photolithographic method for negative tone development.例文帳に追加

電子デバイス製造における微細パターンの形成を可能にし、および最新技術に関連する１以上の上記課題を回避するかまたは顕著に改善する、改良されたポリマー、フォトレジスト組成物、およびネガティブトーン現像のためのフォトリソグラフィ方法の開発。 - 特許庁