plasma damageとは 意味・読み方・使い方

INSPECTION OF PLASMA DAMAGE AND INSPECTION ELEMENT THEREOF例文帳に追加

プラズマ損傷の検査方法、およびその検査素子 - 特許庁

To execute preferable plasma processing while suppressing damage to a processing object which is caused by plasma generation.例文帳に追加

プラズマ発生に起因する被処理体へのダメージを抑制しつつ，好適なプラズマ処理を行う。 - 特許庁

To reduce damage to an insulating film in a plasma nitriding method.例文帳に追加

プラズマ窒化方法において、絶縁膜へのダメージを低減する。 - 特許庁

METHOD OF EVALUATING PLASMA DAMAGE LAYER AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

プラズマダメージ層の評価方法および半導体装置の製造方法 - 特許庁

DEVICE PROTECTING STRUCTURE FOR PREVENTING PLASMA CHARGING DAMAGE AND VERTICAL CROSSTALK例文帳に追加

プラズマ充電損傷および垂直漏話を防止するデバイス保護構造 - 特許庁

PLASMA DAMAGE EVALUATION METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE EMPLOYING THE SAME例文帳に追加

プラズマダメージ評価方法、これを用いた半導体装置の製造方法 - 特許庁

PLASMA PROCESSING SYSTEM FOR DAMAGE-FREE DRY ETCHING OF WAFER例文帳に追加

ダメージのないウェハードライエッチングのプラズマ処理装置 - 特許庁

To reduce the charge-up damage in a plasma processing method.例文帳に追加

プラズマ処理方法において、チャージアップダメージを減少させる。 - 特許庁