plasma density distributionとは 意味・読み方・使い方

To provide a plasma treatment device capable of providing a uniform plasma density distribution.例文帳に追加

均一なプラズマ密度分布が得られるプラズマ処理装置を提供すること。 - 特許庁

Thus, the strength distribution of the magnetic field for uniformizing plasma density distribution is obtained.例文帳に追加

これによりプラズマ密度分布が均一になるような磁場の強度分布が得られる。 - 特許庁

To accurately control, in diversified manners, plasma density distribution in a doughnut-shaped plasma generated in a chamber during an induction coupling type plasma process, and further the plasma density distribution on a substrate.例文帳に追加

誘導結合型のプラズマ処理においてチャンバ内で生成されるドーナツ状プラズマ内のプラズマ密度分布ひいては基板上のプラズマ密度分布を多様かつ精細に制御する。 - 特許庁

To provide a plasma processing apparatus, capable of performing plasma distribution control which can make a distribution of plasma density change at an arbitrary condition such that the plasma density is enlarged in one region on a horizontal plane and the plasma density is lessened in other regions.例文帳に追加

水平面における１の領域ではプラズマ密度を大きくするとともに他の領域ではプラズマ密度を小さくする等、プラズマ密度の分布を任意の状態に変化することができるプラズマ分布制御が可能なプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a plasma generation apparatus and a plasma generation method, wherein unevenness of density distribution of plasma and nonuniformity of thin film are improved.例文帳に追加

プラズマの密度分布の不均一性や薄膜の不均一性が改善されたプラズマ生成装置およびプラズマ生成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a plasma treatment device enabled to improve uniformity of plasma density distribution and plasma generation efficiency.例文帳に追加

プラズマ密度分布の均一性とプラズマ生成効率の向上が得られるようにしたプラズマ処理装置を提供すること。 - 特許庁

INDEPENDENT CONTROL OF ION DENSITY, ION ENERGY DISTRIBUTION AND ION DISSOCIATION IN PLASMA REACTOR例文帳に追加

プラズマリアクタ内のイオン密度、イオンエネルギー分布及びイオン解離の独立した制御 - 特許庁

To provide an ion source for uniformizing plasma density distribution in a discharge vessel.例文帳に追加

放電容器内におけるプラズマ密度分布を均一化できるイオン源の提供。 - 特許庁