plasma density profileとは 意味・読み方・使い方

To improve the radial profile of plasma density on the surface of a wafer.例文帳に追加

ウェハー上のプラズマ密度の半径方向のプロファイルを改善する。 - 特許庁

To enhance the uniformity and yield of a plasma processing process by allowing plasma density profile to be controlled easily and arbitrarily.例文帳に追加

プラズマ密度分布の容易かつ自在な制御を可能とし、プラズマプロセスの均一性や歩留まりを向上させる。 - 特許庁

To efficiently and optionally control a plasma density profile in doughnut-shaped plasma formed in a chamber in inductively coupled plasma processing.例文帳に追加

誘導結合型のプラズマ処理においてチャンバ内に形成されるドーナツ状プラズマ内のプラズマ密度分布を効率よく任意に制御すること。 - 特許庁

Introducting the raw gas into the vacuum vessel 1 in the decompounded state, can introduce a radical or an ion on the sample uniformly to improve the uniformity of the sample even though the plasma density profile is nonuniform.例文帳に追加

原料ガスを分解した状態で真空容器１に導入することにより、プラズマ密度分布が不均一な場合でも、試料上に均一にラジカルやイオンを導入でき試料の均一性を向上させることができる。 - 特許庁