plasma performanceとは 意味・読み方・使い方

HIGH-PERFORMANCE LIQUID CHROMATOGRAPH CAPABLE OF DIRECT INJECTION OF BLOOD SERUM AND BLOOD PLASMA例文帳に追加

血清・血漿直接注入可能な高速液体クロマトグラフ - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING PERFORMANCE OF PROCESS FOR PLASMA TREATMENT EQUIPMENT例文帳に追加

プラズマ処理装置用のプロセス性能検査方法及び装置 - 特許庁

To keep a good process performance and perform stable plasma process.例文帳に追加

処理性能の良い状態を継続させ安定したプラズマ処理を行う。 - 特許庁

PLASMA TREATMENT DEVICE, AND PERFORMANCE CONFIRMATION SYSTEM FOR THE SAME例文帳に追加

プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の性能確認システム - 特許庁

PERFORMANCE EVALUATION METHOD, MAINTENANCE METHOD, PERFORMANCE MANAGEMENT SYSTEM, AND PERFORMANCE CONFIRMATION SYSTEM OF PLASMA TREATMENT DEVICE OR PLASMA TREATMENT SYSTEM, AND PLASMA TREATMENT DEVICE例文帳に追加

プラズマ処理装置又はプラズマ処理システムの性能評価方法、保守方法、性能管理システム、及び性能確認システム、並びにプラズマ処理装置 - 特許庁

To provide a plasma treatment method and a plasma treatment device in which the rate of the plasma treatment can be improved, the plasma treatment performance can be stably improved with excellent reproducibility, and the plasma treatment cost can be reduced.例文帳に追加

プラズマ処理速度の向上、プラズマ処理特性の向上を、再現性良く安定して達成可能とし、また、プラズマ処理コストの低減が可能なプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a plasma processing device including a means for detecting an amount of an ion flux of plasma (plasma density) and a device state on a distribution of the amount of an ion flux of plasma, wherein the amount of an ion flux of plasma is related to a stability in mass production and a reduction in a performance difference among chambers or devices.例文帳に追加

量産安定性と機差低減に関わるプラズマのイオンフラックスの量（プラズマ密度）と、その分布に関する装置状態を検知する手段を備えたプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

To stabilize plasma treatment by suppressing a change in plasma treatment performance due to a remaining matter on the surface of a quartz component caused by repeated plasma treatment in a plasma treatment apparatus.例文帳に追加

プラズマ処理装置において、プラズマ処理を繰り返すことによる石英部品の表面の残留物質によるプラズマ処理性能が変化を、抑制しプラズマ処理を安定化する。 - 特許庁