r2Rとは 意味・読み方・使い方

The R2R controller controls the process tool to execute other steps of executing a process run.例文帳に追加

Ｒ２Ｒコントローラは工程ツールを制御して、工程ランを実行させる他のステップを実行する。 - 特許庁

1.4 ≤|r2R|/IH≤15.0, where IH is the maximum photographic image height and a half of diagonal length of an effective imaging area of the imaging device, and r2R is radius of curvature on an optical axis on the surface to be arranged on the image side most of the second lens group.例文帳に追加

１．４ ≦｜ｒ２Ｒ｜／ＩＨ ≦ １５．０ ただし、ＩＨは最大撮影像高であって撮像素子の有効撮像領域の対角長の半分であり、ｒ２Ｒは第２レンズ群の最も像面側に配置される面の光軸上での曲率半径である。 - 特許庁

To provide a method capable of effectively considering data quality of VM in an R2R model, of overcoming a problem of being impossible to consider a degree of reliance in a VM feedback loop for R2R control and delayed metrology, and of improving APC efficacy.例文帳に追加

Ｒ２ＲモデルでのＶＭのデータ品質を効果的に考量でき、Ｒ２Ｒ制御及び測定遅延のＶＭフィードバックループでの信頼度を考量できない問題を克服し、且つ、ＡＰＣ効能を向上させる方法を提供する。 - 特許庁

An APC system comprises a process tool 100, a metrology tool 110, a virtual metrology (VM) module 120, a reliance index (RI) module 122, and an R2R controller 130.例文帳に追加

ＡＰＣシステムは、工程ツール１００と、測定ツール１１０と、仮想測定（ＶＭ）モジュール１２０と、信頼指数（ＲＩ）モジュール１２２と、Ｒ２Ｒコントローラ１３０とを備える。 - 特許庁