radical 165とは 意味・読み方・使い方

This ionomer wax is provided by containing the poly-1-olefin functionalized by free radical-grafting by using the α,β-unsaturated carboxylic acid or its derivatives and then hydrolyzed, and having the ranges of <30,000 mPa s melt viscosity measured at 170°C and a 70 to 165°C dropping point or softening point.例文帳に追加

α、β-不飽和カルボン酸もしくはそれらの誘導体を用いて遊離基グラフトすることによって官能化されそして次いで加水分解されたポリ-1-オレフィンを含む、170℃で測定して溶融粘度30000mPa・s未満および滴点または軟化点70〜165℃の範囲を有するアイオノマーワックス。 - 特許庁

The method for cleaning the elements includes the steps of: providing a gas 155 containing nitrogen; generating nitrogen radicals from at least a part of the gas, thereby forming a radical containing gas 165; and providing at least a part of the radical containing gas to the one or more elements 100 of the apparatus.例文帳に追加

窒素を含むガス１５５を供給するステップと、当該ガスの少なくとも一部から窒素ラジカルを生成することにより、ラジカル含有ガス１６５を形成するステップと、当該ラジカル含有ガスの少なくとも一部をリソグラフィ装置の１つ以上の素子１００に供給するステップとを備える。 - 特許庁