reaction control system structureとは 意味・読み方・使い方

To perform rapid evacuation while preventing particles such as reaction products in a load lock chamber from being raised by turbulence of the evacuation without making complex the structure of an exhaust system and its control.例文帳に追加

排気系の構造およびその制御を複雑にすることなく、ロードロック室内の反応生成物などのパーティクルが真空引きの乱流により巻き上げられることを防止しつつ、速やかな真空引きを可能とする。 - 特許庁

To provide the storage-transport system of hydrogen having high storage efficiency of hydrogen, capable of storing hydrogen as a liquid at ordinary temperature and ordinary pressure, and capable of easily achieving storage and transport of hydrogen energy by an organic chemical hydride method (OCH method) without reducing advantages such as few potential hazards or complicating the structure and control of a reaction apparatus.例文帳に追加

水素の貯蔵効率が高く、常温・常圧の液体として水素貯蔵が可能であって潜在的な危険性が少ない等の利点を損なうことなく、また、反応装置の構造や制御を複雑化させることなく、有機ケミカルハイドライド法（OCH法）により容易に水素エネルギーの貯蔵輸送を図ることができる水素の貯蔵輸送システムを提供する。 - 特許庁