reactive plasmaとは 意味・読み方・使い方

REACTIVE PLASMA ETCH CLEANING OF HIGH ASPECT RATIO OPENING PART例文帳に追加

高アスペクト比開口部の反応性プラズマエッチクリーニング - 特許庁

In addition, the reactive gas and the catalyst are supplied into the electric discharge space and the reactive gas is subjected to the plasma formation and is chemically reacted.例文帳に追加

また、反応ガス及び触媒を放電空間へ供給し、反応ガスをプラズマ化して化学反応させる。 - 特許庁

TOROIDAL LOW ELECTRIC FIELD REACTIVE GAS AND PLASMA SOURCE HAVING DIELECTRIC VACUUM TANK例文帳に追加

トロイダル低電場反応性気体および誘電真空槽を有するプラズマ源 - 特許庁

APPARATUS AND METHOD FOR ATMOSPHERIC PRESSURE REACTIVE ATOM PLASMA PROCESSING FOR SURFACE MODIFICATION例文帳に追加

損傷の無い表面の造形のための大気圧反応性原子プラズマ加工装置及び方法 - 特許庁

RELEASING TREATMENT OF DIE BY MEANS OF REACTIVE SPUTTERING USING ECR PLASMA例文帳に追加

ＥＣＲプラズマを用いた反応性スパッタリングによる金型の離型処理方法 - 特許庁

After the introduction, the reactive chamber 1 is applied with high frequency to start film-formation with plasma discharge.例文帳に追加

導入後、反応室１に高周波を印加してプラズマ放電により、製膜を開始する。 - 特許庁

It is preferable that the reactive gas does not pass through the plasma formation space.例文帳に追加

さらに反応性ガスがプラズマ化空間を通過しないものであることが好ましい。 - 特許庁

A plasma discharge is provided with a plurality of plasma generating sources 20, each of which generates plasma of a reactive gas and makes all plasma generating sources 20 generate plasma of the same density.例文帳に追加

反応ガスをプラズマ化するプラズマ発生源２０を複数有し、このプラズマ発生源２０の全てにほぼ同じ密度のプラズマを発生させることができる。 - 特許庁