remote batch processingとは 意味・読み方・使い方

BATCH-TYPE REMOTE PLASMA PROCESSING APPARATUS例文帳に追加

バッチ式リモートプラズマ処理装置 - 特許庁

To provide a processing tube in a batch-type remote plasma processing unit.例文帳に追加

バッチ式リモートプラズマ処理装置における処理管を提供する。 - 特許庁

REMOTE BATCH PROCESSING SYSTEM, AND METHOD, PROGRAM AND RECORDING MEDIUM THEREOF例文帳に追加

リモートバッチ処理システム、その方法、プログラム及び記録媒体 - 特許庁

This system is called the Remote Job Entry(RJE) system or remote batch processing発音を聞く 例文帳に追加

このシステムのことを遠隔ジョブ(RJE)システムとかリモートバッチ処理と呼ぶ - コンピューター用語辞典

To provide a batch type vacuum processing apparatus capable of efficiently performing surface processing such as removal of a natural oxide film of a wafer by using remote plasma processing process and capable of reducing deterioration in wafer yield, device loads and so on.例文帳に追加

遠隔プラズマ処理プロセス処理を用い、ウェハの自然酸化膜除去などの表面処理を効率的に行うことができ、ウェハの歩留り悪化や装置負担を軽減し得るバッチ式真空処理装置を提供する。 - 特許庁

This operation system for the running support road system has a system operation management device performing online-processing of daily operation monitoring of equipment constituting the running support road system at all times in a batch and is provided with functions for giving a remote diagnostic processing command for daily inspection and operation test and recording test operation by this device.例文帳に追加

走行支援道路システムの運用方式であって、走行支援道路システムを構成する設備機器の日常の常時動作監視を一括オンライン処理するシステム運用管理装置を有し、この装置で日常点検、動作試験のリモート診断処理指令、試験動作記録機能を具えている。 - 特許庁

The processing tube applied to the batch-type remote plasma processing unit is provided with a processing chamber 12 where a plurality of laminated wafers 1 are accommodated; and a discharge chamber 33 which is comparted from the chamber 12, to which processing gas 41 is supplied and can accommodate at least a pair of electrodes that generate plasma 40 inside the chamber 33.例文帳に追加

バッチ式リモートプラズマ処理装置に適用される処理管は、複数枚のウエハ１が積層して収容される処理室１２と、処理室１２から区画され、処理ガス４１が供給される放電室３３であって、少なくともこの放電室３３内でプラズマ４０を生成する一対の電極部を収容可能な放電室３３と、を備えている。 - 特許庁