ruthenium electrodeとは 意味・読み方・使い方

METHOD FOR FORMING RUTHENIUM STORAGE ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT例文帳に追加

半導体素子のルテニウム・ストレージ電極の形成方法 - 特許庁

The Schottkey electrode 32 contains a ruthenium layer 32a.例文帳に追加

ショットキ電極３２は、ルテニウム層３２ａを含んでいる。 - 特許庁

The lower electrode 11 made of ruthenium has an opening caused by voids that are generated during formation of the electrode for example.例文帳に追加

ルテニウムから成る下部電極１１は例えば形成時のボイドに起因する開口を有している。 - 特許庁

To suppress diffusion of ruthenium, or the like, into hafnium oxide, or the like, in a DRAM capacitor using ruthenium or ruthenium oxide into an upper electrode and hafnium dioxide or zirconium oxide into an insulating film.例文帳に追加

ルテニウム或いは酸化ルテニウムを上部電極、二酸化ハフニウム或いは酸化ジルコニウムを絶縁膜に用いたＤＲＡＭキャパシタにおいて、ルテニウム等の二酸化ハフニウム等中への拡散を抑制すること。 - 特許庁

A ruthenium film is deposited to embed the hole 43, and the ruthenium on the silicon oxide film 42 except the hole 43 is remove to form the lower electrode 45 comprising the ruthenium in the hole 43.例文帳に追加

この孔４３を埋め込むルテニウム膜を堆積し、孔４３以外のシリコン酸化膜４２上のルテニウムを除去して孔４３内にルテニウムからなる下部電極４５を形成する。 - 特許庁

Further, a barrier film 27 comprising an oxide film of the ruthenium silicide is formed on the surface of the ruthenium silicide film 22 by means of natural oxidation, and a ruthenium film 28 serving as the lower electrode is formed inside the hole 26.例文帳に追加

その後、自然酸化によりルテニウムシリサイドの酸化膜からなるバリア膜２７をルテニウムシリサイド膜２２の表面に形成し、さらに孔２６の内部に下部電極となるルテニウム膜２８を形成する。 - 特許庁

A ruthenium film as an anode and a processing electrode as a cathode are arranged with a prescribed interval, and while supplying an electrolytic solution 15 containing halide to a gap between the ruthenium film and the processing electrode 22, voltage is impressed between the ruthenium film and the processing electrode 22.例文帳に追加

陽極としたルテニウム膜と陰極とした加工電極２２とを所定の間隔をおいて配置し、ルテニウム膜と加工電極２２との間にハロゲン化物を含む電解液１５を供給しながらルテニウム膜と加工電極２２との間に電圧を印加する。 - 特許庁

RUTHENIUM COMPLEX USEFUL AS SENSITIZER, OXIDE SEMICONDUCTOR ELECTRODE AND SOLAR CELL USING THE SAME例文帳に追加

増感剤として有用なルテニウム錯体、酸化物半導体電極及びそれを用いた太陽電池 - 特許庁