silicon interconnectionとは 意味・読み方・使い方

Capacitors and interconnection structures for silicon carbide having silicon oxynitride layer as a dielectric structure are also provided.例文帳に追加

誘電体構造として酸窒化ケイ素層を有する炭化ケイ素用のコンデンサおよび内部接続構造もまた提供される。 - 特許庁

A connection hole stopper film 6, such as silicon nitride film, is formed to directly cover a lower interconnection 4.例文帳に追加

下部配線４を直接覆うようにシリコン窒化膜などの接続孔ストッパ膜６を形成する。 - 特許庁

A silicon oxide film 43, a colored thin film 44, and a silicon oxide film 45 are formed sequentially on the interconnection 42, and a silicon nitride film 46, serving as a surface protection film, is formed on the silicon oxide film 45.例文帳に追加

配線４２上に酸化シリコン膜４３、有色薄膜４４および酸化シリコン膜４５を順次形成し、酸化シリコン膜４５上に表面保護膜となる窒化シリコン膜４６を形成する。 - 特許庁

A single-crystal silicon film 18 is formed by selectively forming the amorphous silicon film 17, and resist 19 is formed only on an interconnection formation part.例文帳に追加

次に、アモルファスシリコン膜１７を選択的に成長させて単結晶シリコン膜１８を形成し、インターコネクト形成部上のみにレジスト１９を形成する。 - 特許庁

To provide a copper interconnection layer (110) having a barrier (106) made of transition metal-silicon-nitride.例文帳に追加

遷移金属−シリコン−窒化物からなる障壁（１０６）を備えた銅相互接続層（１１０）を提供する。 - 特許庁

One implementation form is an optical interconnection module including a silicon carrier, a communication integrated circuit mounted on the silicon carrier, and an optical integrated circuit mounted on the silicon carrier.例文帳に追加

本発明の一実施形態は、シリコン・キャリアと、そのシリコン・キャリア上に搭載された通信集積回路と、そのシリコン・キャリア上に搭載された光集積回路とを含む光相互接続モジュールである。 - 特許庁

The carbonaceous thin film is formed on the surface of the substrate, and has a film main body containing a C-C component formed by the interconnection of carbon and an SiC component formed by the interconnection of carbon and silicon.例文帳に追加

炭素質薄膜は、基材の表面に形成され、炭素同士が結合したＣ−Ｃ成分及び炭素とシリコンとが結合したＳｉＣ成分を含む膜本体を備えている。 - 特許庁

The silicide layer 6 prevents diffusion of Cu from the Cu interconnection M1 and enhances adhesion between the Cu interconnection M1 and an overlying silicon nitride film 7.例文帳に追加

このシリサイド層６によって、Ｃｕ配線Ｍ_1 からのＣｕの拡散を防ぎ、また、Ｃｕ配線Ｍ_1 とＣｕ配線Ｍ_1 の上層に形成される窒化シリコン膜７との接着性を向上させる。 - 特許庁