silicon sourceとは 意味・読み方・使い方

In the method for manufacturing silicon carbide, silicon carbide is deposited on the surface of a substrate from an atmosphere containing silicon-carbide source gas containing at least silicon source gas and carbon source gas.例文帳に追加

基板表面に少なくとも珪素源ガスと炭素源ガスとからなる炭化珪素原料ガスを含む雰囲気から炭化珪素を形成する、炭化珪素の製造方法。 - 特許庁

The metal-containing layer is reacted with the silicon-containing source, and a metal silicide layer is formed of silicon which originates primarily from the silicon- containing source.例文帳に追加

メタル含有層は、珪素含有ソースと反応し、珪素含有ソースを主な出所とするシリコンを有するメタルシリサイド層を形成する。 - 特許庁

The silicon nitride film containing carbon is deposited by the reaction of species nitride and a silicon source.例文帳に追加

炭素を含むシリコン窒化膜は、窒化種とシリコンソースの反応により成膜される。 - 特許庁

The method of manufacturing the silicon carbide heater comprises: a step for impregnating a carbon fiber with a carbon source; and a step for impregnating the carbon fiber impregnated with the carbon source with a molten silicon source to react the carbon source with the silicon source to obtain silicon carbide heater.例文帳に追加

炭素繊維に炭素源を含浸させる工程と、炭素源を含浸させた前記炭素繊維に溶融したケイ素源を含浸させ、炭素源と前記ケイ素源を反応させて炭化ケイ素ヒータを得る工程と、を含む炭化ケイ素ヒータの製造方法。 - 特許庁

DIETHYL SILANE AS SILICON SOURCE FOR METAL SILICATE FILM DEPOSITION例文帳に追加

金属ケイ酸塩膜堆積用のケイ素源としてのジエチルシラン - 特許庁

A silicon carbide crystal 3 is grown by forming a silicon melt layer 2 on a silicon carbide seed crystal 1, supplying a source gas containing carbon or a mixture gas of a source gas containing carbon and a source gas containing silicon, or a source gas containing carbon and silicon in the same molecule, onto the silicon melt layer 2.例文帳に追加

炭化珪素の種結晶１の上にシリコン融液層２を形成し、シリコン融液層２の上に炭素を含む原料気体、または炭素を含む原料気体とシリコンを含む原料気体の混合ガス、あるいは炭素とシリコンを同一分子中に含む原料気体を供給して、炭化珪素の結晶３を成長させる。 - 特許庁

A silicon source is added to the reaction mixture to produce a Zr or Hf silicon oxynitride films.例文帳に追加

酸窒化ケイ素Ｚｒ又はＨｆ膜を作るには、上記の反応混合物にケイ素源を加える。 - 特許庁