soI coatingとは 意味・読み方・使い方

The oxidation of filling layers 8a is prevented from being oxidized in an LOCOS process for forming a 6th insulating layer 14a by coating the surfaces of the filling layers 8a for filling trenches formed in a semiconductor layer 3 of the SOI wafer with anti-oxidation layers 13a to suppress the warp of the SOI wafer.例文帳に追加

ＳＯＩウエハの半導体層３に形成したトレンチを充填する充填層８ａの表面を耐酸化層１３ａで被覆することで、第６の絶縁層１４ａを形成するＬＯＣＯＳ工程で、充填層８ａが酸化されることを防止して、ＳＯＩウエハの反りを抑制する。 - 特許庁

To provide a semiconductor device, using an SOI for preventing nonuniformity in coating of a photoresist and disconnection in the step part of metal wiring caused by a sharp step formation, when the step of a silicon active layer and a semiconductor supporting substrate is increased, when forming the opening part of the semiconductor support substrate for forming a protecting element on the semiconductor supporting substrate.例文帳に追加

半導体支持基板に保護素子を形成するための半導体支持基板の開口部の形成時の、シリコン活性層と半導体支持基盤の段差増大時の、フォトレジストのコートムラと、急な段差形成による金属配線の段差部での断線を防止するＳＯＩを用いた半導体装置の提供。 - 特許庁