After a silicon wafer having the insulating film at the front surface thereof is uniformly sprayed with the Na_3Au(SO_3)_2 electrolytic solution discharged from a spray nozzle, the Pt electrode is soaked to the electrolytic solution, and a voltage is impressed across a silicon substrate and the Pt electrode to precipitate the Au particles of the diameter of 10 nm or less on the fault of insulating film.例文帳に追加

表面に絶縁膜を有するシリコンウエハにスプレーノズルによりＮａ_３Ａｕ（ＳＯ_３）_２電解液を均一に照射した後、Ｐｔ電極を電解液に浸し，シリコン基板とＰｔ電極間に電圧を印加し，絶縁膜欠陥上に直径１０ｎｍ以下のＡｕ粒子を析出させる。 - 特許庁

This digital control software fault simulation test device includes at least a plant simulation (Process) device of program simulation; a controller (Controller) including a high pressure spray substance control and software simulation control (Control Logical Simulation); and an operation interface device for enabling an operator (Operator) to observe a high pressure core sparay controller and special safety control system control.例文帳に追加

少なくとも、プログラム模擬のプラント模擬（Ｐｒｏｃｅｓｓ）装置と、高圧注水実体制御とソフト模擬制御（Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｌｏｇｉｃａｌ Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ）とが含有される制御装置（Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）と、作業者（Ｏｐｅｒａｔｏｒ）が高圧炉心注水制御装置と格別安全制御システム制御を観察するための操作インターフェース装置とが含有される。 - 特許庁