sump solutionとは 意味・読み方・使い方

A solution sump X is formed on the upper head 63 and the lower head 64 using a recessed part 65 and a thin plate 66.例文帳に追加

上ヘッド６３、下ヘッド６４に、凹部６５と薄板６６とによって溶剤溜部Ｘを構成する。 - 特許庁

When a solution is pressure-fed to the solution sump X from a solution feeding source 71, the solution is discharged to the circumference of a substrate G from the discharge hole 67 formed on the thin plate 66, and the unnecessary resist film R on the circumferential part is fused and removed.例文帳に追加

溶剤供給源７１から溶剤が溶剤溜部Ｘに圧送されると、薄板６６に形成された吐出孔６７から溶剤が基板Ｇ周縁部に吐出され、周縁部の不要なレジスト膜Ｒが溶解除去される。 - 特許庁

The ceiling section 16 is detached from the chamber body section 17 and the material solution 12 accumulated in a solution sump 18 is recovered from the open top surface of the chamber body section 17.例文帳に追加

天井部１６を本体部１７から離脱させ、本体部１７の開放上面から溶液溜まり部１８に溜まった材料溶液１２を回収する。 - 特許庁

The web 12 is coated with the coating solution of the liquid sump formed between the rod 14 and the web 12 by bringing the rod 14 into contact with the web 12 to rotate the same so as to follow the running of the web 12.例文帳に追加

ウェブ１２にロッド１４を接触させて、ロッド１４を従動回転させることにより、ロッド１４とウェブ１２との間に形成される液溜まりの塗布液をウェブ１２に塗布する。 - 特許庁

The first temperature control pipe 92 is disposed at the outer peripheral of the first developing solution feeding pipe 91 which feeds the developing solution to the sump part 82 within the body 80, wherein a fluid for controlling a temperature runs through and the first temperature control pipe 92 is connected aslant to the upper face of the body 80.例文帳に追加

本体８０内の液溜部８２に現像液を供給する第１の現像液供給管９１の外周に，温度調節用流体が流れる第１の温度調節管９２が配置され，本体８０の上面に対して斜めに接続されている。 - 特許庁