x-ray reflectometryとは 意味・読み方・使い方

To provide a method and apparatus for imaging a two-dimensional electron density distribution and a nucleus scattering length density distribution on a surface, an interface and a specific depth position of a thin film and a multilayered film having nonuniform and different structure for every place in plane, by an X-ray reflectometry and neutron reflectometry.例文帳に追加

Ｘ線反射率法および中性子反射率法において、均一ではない、面内の場所ごとに異なる構造を持つ薄膜・多層膜について、表面や界面、特定深さ位置における２次元の電子密度分布および核散乱長密度分布を画像化する方法及びその装置を提供する。 - 特許庁

According to the present invention, the apparatus provides images of the two-dimensional electron density distribution and the nucleus scattering length density distribution on the surface, the interface and the specific depth position not using a method for making minute beams and performing an XY scan, but using beams having same size as those used in the regular X-ray reflectometry and the neutron reflectometry by algorithm of mathematical image reconstruction.例文帳に追加

本発明では、微小ビームを作製してＸＹスキャンを行う方法によらず、通常のＸ線反射率法および中性子反射率法において用いられるものと同じサイズのビームを用い、数学的な画像再構成のアルゴリズムによって、表面や界面、特定深さ位置における２次元の電子密度分布および核散乱長密度分布の画像が得られる装置を開発した。 - 特許庁