「"プラズマ電子密度"」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

簡単な装置構成で高精度にプラズマ電子密度および温度を測定し得る方法ならびに装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a method and a device wherein density and temperature of plasma electrons can be measured precisely by a simple device constitution. - 特許庁

プラズマの電子密度及び電子温度を正確に測定し、リアルタイムモニタリングでき、量産工程に適した、プラズマ電子密度及び電子温度のモニタリング装置並びに方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a monitoring device and method of plasma electron density and electron temperature capable of measuring correctly and monitoring in real time the electron density and electron temperature of plasma, and suitable for a mass-production process. - 特許庁

低圧雰囲気においても，プラズマの電子温度の上昇を抑えつつ，プラズマ電子密度の均一性を制御し，被処理基板へのダメージのない，均一なプラズマ処理を行う。例文帳に追加

To execute uniform plasma processing, without damage to a substrate to be processed by controlling the uniformity of a plasma electron concentration, while suppressing the rise in plasma electron temperature, even under a low-pressure atmosphere. - 特許庁

これにより，高周波アンテナ１０６により形成された誘導結合プラズマの電子をプラズマ生成空間内に閉じ込めることができるので，プラズマの電子温度の上昇を抑えながら，プラズマ電子密度を高めることができる。例文帳に追加

Accordingly, it is possible to keep the electrons of inductively coupled plasma formed by the high-frequency antenna 106 to be confined inside the plasma-generating space, thereby increasing the plasma electron concentration, while suppressing the rise in the plasma electron temperature. - 特許庁

電子密度に基づいたプラズマの周波数を電磁波の送受信構造として分析し、プラズマの当該電子密度を測定およびモニタリングするアンテナ構造の周波数探針器を有する構造のプラズマ電子密度測定およびモニタリング装置を提供する。例文帳に追加

To provide a plasma electron density measuring and monitoring device having a frequency probe in an antenna structure for analyzing plasma frequency based on an electron density as a transceiving structure of an electromagnetic wave to measure and monitor the electron density of the plasma. - 特許庁