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"レーザ光散乱"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
レーザ光散乱式表面検査装置を用いて測定検出された鏡面加工シリコンウエハ表面上の光散乱体が、付着ダスト等の異物付着に起因する光散乱体であるか、または、微細欠陥に起因する光散乱体であるかを正確に識別できるシリコンウエハ表面微細欠陥の評価方法を提供する。例文帳に追加
To accurately discriminate when using a laser light scattering surface inspection device whether a light scattering bodies on a mirror-finished silicon wafer surface, is caused by sticking foreign objects such as sticking dust or caused by minute defects. - 特許庁
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