「"COP on"」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

To provide a silicon wafer with fewer defects caused by COP on the surface.例文帳に追加

表層のＣＯＰ由来欠陥が少ないシリコンウェーハの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a heat treatment method of a silicon wafer capable of extinguishing a crystal defect such as a COP on the surface of a wafer as a device active region, capable of forming a BMD with a high density in a bulk, and capable of suppressing a slip generated in an RTP.例文帳に追加

デバイス活性領域となるウェーハの表面部においてＣＯＰ等の結晶欠陥を消滅させることができ、バルク部においてはＢＭＤを高密度で形成させることができ、さらに、ＲＴＰにおいて発生するスリップを抑制することができるシリコンウェーハの熱処理方法が提供される。 - 特許庁

In inspection of the bare silicon type semiconductor wafer, the semiconductor wafer is evaluated by classifying a projecting defect from a recessed defect by using a laser surface inspection device equipped with one low-angle incident system and two light receiving systems, to thereby enable to evaluate the semiconductor wafer by classifying accurately the adhering particles from the COP on the bare silicon type semiconductor wafer.例文帳に追加

ベアシリコン半導体ウエーハの検査において、１つの低角度入射系と、２つの受光系とを備えたレーザー表面検査装置を用い、凸状欠陥と凹状欠陥を分類して半導体ウエーハを評価することにより、ベアシリコン半導体ウエーハの付着パーティクルとＣＯＰを正確に分類して半導体ウエーハを評価することができる。 - 特許庁