| 例文 |
"diffuse density"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
To easily diffuse phosphorus in a silicon film and easily control the diffuse density of the phosphorus by changing a timing of doping a dopant gas.例文帳に追加
ドーパントガスを流すタイミングを変えることによって、シリコン膜中へのリン拡散が容易で、リン拡散濃度を容易に制御できるようにする。 - 特許庁
To provide radical processing equipment and method which can treat the surface of a processed substrate uniformly by preventing generation of uneven gas flow in the vicinity of the surface of the processed substrate even when gas is introduced at a high flow rate thereby equalizing spatial distribution of radical diffuse density.例文帳に追加
大流量のガス導入時にも被処理基体の表面近傍に不均一なガスの流れが発生することを防止し、ラジカル拡散濃度の空間分布を均一化し、被処理基体の表面の均一な処理を行うことができるラジカル処理装置及び方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
| 例文 |
| Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|